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更新時間：2014-10-22
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滿量程流量范圍（N2） | 5SCCM～10SLM |
控制范圍 | 2～100％F.S. |
閥類型（及閥初始狀態(tài)） | 電磁調(diào)節(jié)閥（常閉） |
準確度 | ±1.5％F.S. |
線性 | ±0.5～1.5％F.S. |
重復度 | ±0.2％F.S. |
響應時間 | ≤7sec |
作溫度范圍 | 5～45℃ |
作壓差 | 0.1～0.5MPa |
耐壓 | 3MPa |
漏氣率 | 1×10-8atm.cc/sec He |
密封材料 | 氟橡膠（或氯丁橡膠） |
電插頭形式 | DB15 pin（Female） |
接頭選擇 | VCR 1/4"或φ4hose、φ6hose Swagelok 1/4"或φ6、φ3 |
重量 | 1.1Kg |
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